ACT-300AⅡ
仕様
一般名： スピンコーター Spin Coater
メーカー名： 株式会社アクティブ
型番： ACT-300AⅡ
基板サイズ ： Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応
ワーク（基板）の重量 ： 300ｇ以下
カップ内径 ： Φ300mm
外形寸法 ： W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源 ： 1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度 ： 0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力 ： -70 ～ -80kPa
真空ポンプ排気量： 12L/min以上
プログラムステップ数?パターン数： 10ステップ?100パターン（プログラムメモリ機能標準）
重量： 約22kg