ACT-300AⅡ

SpinCoater

仕様

一般名: スピンコーター Spin Coater
メーカー名: 株式会社アクティブ
型番: ACT-300AⅡ

基板サイズ Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
ワーク(基板)の重量 300g以下
カップ内径 Φ300mm
外形寸法 W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm
電源 1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
回転制御速度 / 回転精度 0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)
基板吸着圧力  -70 ~ -80kPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上
プログラムステップ数?パターン数 10ステップ?100パターン(プログラムメモリ機能標準)
重量 約22kg
メーカーHP: https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/standard/act300a2/