ACT-300AⅡ
仕様
一般名： スピンコーター Spin Coater
メーカー名： 株式会社アクティブ
型番： ACT-300AⅡ
| 基板サイズ | Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応 |
| ワーク（基板）の重量 | 300ｇ以下 |
| カップ内径 | Φ300mm |
| 外形寸法 | W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm |
| 電源 | 1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz |
| 回転制御速度 / 回転精度 | 0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) |
| 基板吸着圧力 | -70 ～ -80kPa |
| 真空ポンプ排気量 | 12L/min以上 |
| プログラムステップ数?パターン数 | 10ステップ?100パターン（プログラムメモリ機能標準） |
| 重量 | 約22kg |