ACT-300AⅡ

仕様
一般名: スピンコーター Spin Coater
メーカー名: 株式会社アクティブ
型番: ACT-300AⅡ
基板サイズ | Φ5~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応 |
ワーク(基板)の重量 | 300g以下 |
カップ内径 | Φ300mm |
外形寸法 | W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm |
電源 | 1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz |
回転制御速度 / 回転精度 | 0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) |
基板吸着圧力 | -70 ~ -80kPa |
真空ポンプ排気量 | 12L/min以上 |
プログラムステップ数?パターン数 | 10ステップ?100パターン(プログラムメモリ機能標準) |
重量 | 約22kg |