EPMA-8050G

仕様

一般名：　電子線マイクロアナライザ　Electron Probe Micro Analyzer
メーカー名：　Shimadzu
型番：　EPMA-8050G
概要：
電子線マイクロアナライザは、細く絞られた電子線を試料面に照射し、発生した特性X線を分光し、強度を測定することにより、微小な領域の元素組成や試料面上の元素濃度分布を求めることができる分析装置です。
EPMAで用いる波長分散型X線分光器（WDS）は、エネルギー分散型X線分光器（EDS）と比較して、分解能が高いことが特徴です。　このためEPMAは、走査型電子顕微鏡（SEM）にEDSを搭載したモデルと比較して、より高精度で高感度な分析を行うことができます。　最表面から1μm内部の元素の組成やマッピング画像を得ることができます。　原理上、最表面（nmオーダー）の分析はできません。
　
仕様：
電子源：　ショットキーエミッタ
加速電圧：　0.5kV（0.1kV刻み。5kV以下では10V単位で設定可能）
二次電子像分解能：　3nm(加速電圧30kV、分析位置)
分析条件二次電子像分解能：
　　20nm（照射電流10nA、加速電圧10kV）
　　50nm（照射電流100nA、加速電圧10kV）
　　150nm（照射電流1μA、加速電圧10kV）
対物絞り：　切替不（照射電流1μA、加速電圧10kV）要
ビームシャッタ：　OPEN/CLOSE（CLOSE時ファラデーカップにて照射電流測定）
最大照射電流：　3μA（加速電圧30kV）
照射電流安定度：　±0.3%/h（照射電流50nA、加速電圧10kV）
倍率：　40倍～400,000倍（WD=6.35mm分析高さ）
　
光学顕微鏡CCD観察可
観察範囲：　480μm?360μm
　
走査像観察
信号：　二次電子、反射電子、試料電流、特性X線
　
試料ステージ
試料移動軸：　X,Y,Z軸（電動モータ制御）
最大試料寸法：　100mm?100mm?50mmt
最大分析領域：　90mm?90mm
最大駆動範囲：　90mm?90mm?7mm
　
X線分光器
分析元素：　4Be～92U

準備されている定量用標準物質

2017年3月1日
Al、Ag、B、C、Cr、Cu、
Fe、N、Ni、Mg、Mn、Mo、Pb、
Si、Sn、Ti、Zn
　
2018年2月27日追加
Ag、As、Au、Ba、Br、
Ca、Cd、Ce、Cl、Co、F、
Na、P、Pt、S、Sb、Se、
Te、W、Y、Zr