汎用SEM JSM-6010LV(JEOL)  

仕様

一般名：　走査型電子顕微鏡　SEM
メーカー名：　JEOL 日本電子株式会社
型番：　JSM-6010LV
注意事項：　試料室上のチップに試料をぶつけないか確認ください。
分解能（高真空）：　4nm(20kV, WD8mm), 8nm(3kV, WD6mm), 15nm(1kV, WD6mm)
分解能（低真空）：　5nm(20kV, WD5mm)
検出器：　2次電子に加え、反射電子検出器付きなので凹凸像(TOPO)、組成像(COMPO)の観察可
真空モード：　高真空モード、低真空モード
フィラメント：　工場プリセンター（タングステン）フィラメント
加速電圧：　0.5kV~20kV
最大試料サイズ：　150mm径、48mm高
X方向：　80mm
Y方向：　40mm
Z方向：　WD5~48mm
倍率：　x8-x300,000
試料室圧力調整範囲：　10Pa~100Pa
傾斜：　-10°~+90°
回転：　360°