JSM-7100F, EDS&EBSD
仕様
電子顕微鏡仕様
一般名： エネルギー分散型X線分析装置および結晶方位解析装置付電界放出型走査電子顕微鏡 EDS&EBSD付 FE-SEM Field-Emission Scanning Electron Microscope
メーカー名： JEOL Ltd. （日本電子株式会社）
電子顕微鏡型番： JSM-7100F
二次電子分解能： 1.2nm(加速電圧30kV)
分析時3.0nm(加速電圧15kV、WD10mm、照射電流5nA)
倍率： x10~1,000,000
加速電圧： 0.2kV~30kV
電子銃： インレンズショットキー電界放射型電子顕微鏡
対物レンズ： アウトレンズ型対物レンズ
試料ステージ： 5軸モーター駆動
試料移動範囲： 70mm（X）、50mm(Y)、3~41mm(Z)
傾斜-5~70°、回転360°
試料ホルダ： 12.5mmΦ?10mmh、25mmΦ?20mmh用
検出器： 下方検出器（反射電子検出器）のみ
反射電子検出器付属 (組成COMPO、凹凸TOPO)
試料室カメラ： 有
エネルギー分散型X線分析装置（EDS）仕様
メーカー名： JEOL Ltd. （日本電子株式会社）
EDS検出器型番： JED-2300F
EDS検出元素： Be~U
定性?定量分析： 可
線分析、元素マップ： 可
液体窒素： 不要
結晶方位解析装置（EBSD）仕様
メーカー名： アメテック株式会社 AMETEK Co.,Ltd
型番： OIM （結晶方位解析装置）
液体窒素： 不要