SMART COATER

仕様

一般名：　試料コーター
メーカー名：　JEOL
型番：　DII-29010SCTR
注意事項：
　?30秒ごとに被膜を確認し、必要があれば追加してください。
　?2分より多くコートをしないでください。
　?真空部品なので、ベルジャー（ガラス管）や試料台を触るときは手袋を着用してください。
　?使用後ベルジャーを乾拭きしてください。
　?ベルジャーはガラス製のため、落とすと割れます。　取り扱いには気を付けてください。

使用真空度：　～4Pa
試料室サイズ：　内径86㎜×深さ100㎜
ターゲット電極：　金
ターゲットサイズ：　直径49.5㎜×厚さ0.1㎜
ターゲット電極：　直径20㎜
試料台サイズ：　直径70㎜
試料台高さ：　ターゲットに対して10㎜～50㎜まで連続可変
スパッタ時間：　0.5min、1min、2min固定
コーティング膜厚の目安（金）：　1minで5nm、2minで10nm