FB2000A

仕様

一般名：　集束イオンビーム加工観察装置
メーカー名：　（株）日立ハイテクノロジーズ
型番：　FB2000A
二次電子像（SIM像）分解能：　10nm（加速電圧30kV）
倍率：　X200～X50,000
加速電圧：　30kV
イオン銃：　ガリウムイオン銃
試料台：　円形試料台（φ15mm、φ25mm、φ37mm）、TEM用試料台
試料ステージ：　サイドエントリーステージ
　　　　　　　　15mm（作動距離）
　　　　　　　　-4度～+60度（傾斜）
　　　　　　　　360度（回転）
最大試料サイズ：　φ100mm（直径）＊23（h）mm